本机为 Cold Field Emission 冷场发射 SEM 扫描电镜，核心二次电子分辨率 1.0nm@15kV、1.4nm@1kV，放大倍率 25 倍至 1,000,000 倍连续可调；Accelerating Voltage 加速电压 0.1kV–30kV，Probe Beam 束流区间 1pA–2nA，标配 Gentle Beam 低损伤成像模式与 r-filter 电子能量筛选模块。设备搭载 SE 二次电子、BSE 背散射双探测器，可选配 EDS Energy Dispersive Spectrometer X 射线能谱仪；五轴全自动马达样品台，样品室最大容纳 200mm 晶圆试样，工作真空稳定可达 1.0×10⁻⁵Pa，配磁悬浮分子泵与离子泵双级真空系统，内置全自动物镜光阑与样品气锁置换机构，适配半导体 Wafer 形貌检测、微区成分分析制程检测场景。
二手设备分级保养规范：每日控温 22±1℃、湿度 45%-55%，使用后清理样品台碎屑；每周氮吹清洁 SE/BSE 探测器窗口，核查机械泵油位；每月更换腔体干燥剂、清洗真空密封圈并做分辨率标样校准；每半年完成电子枪 Alignment 对中、检测高压线路绝缘；年度更换机械泵油、补充分子泵润滑脂，拆解镜筒吹扫污染物，规避图像漂移、真空衰减、束流不稳等二手设备常见故障。
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